高灵敏度光谱仪的透射率或效率可以通过辅助单色仪进行测量，在可见光和近紫外光下实现这些测量没有困难。测量需要知道单色仪的透射率：对于相对测量，可以以相对单位在各种波长下测量透射率。这些测量存在很大的实验困难，因此通常使用辅助单色仪，在不同入射角下测量衍射光栅的效率。
高灵敏度光谱仪的分辨率是光谱分析仪的重要参数，光谱仪的分辨率直接影响仪器的性能。光谱仪的分辨率是指光谱仪的分辨率精度较低，即在测试时，我们可以知道光谱线的程度，那么影响光谱仪分辨率的主要因素是什么？
1.检测器是光谱仪的核心部分，它直接确定光谱范围，灵敏度，分辨率和信噪比。一般来说，探测器的材料决定其光谱范围，而探测器的工作原理，制造方法和掺杂材料则决定其灵敏度，范围和信噪比。
2.光栅将从狭缝入射的光分散在空间中，使得光强度成为波长的函数。它是光谱检测的基础，也是光谱仪的核心部分。对于给定的光学平台和检测器，我们可以通过选择不同的光栅来控制光谱仪的光谱覆盖范围，光谱分辨率和杂散光水平。
3.高灵敏度光谱仪的分辨率和光通量直接受到入射狭缝的影响。光谱仪的检测器终检测到狭缝投射到检测器上的图像，因此，狭缝的大小直接影响光谱仪的分辨率。缝隙越小，分辨率越高，缝隙越大，分辨率越低。另外，狭缝是光进入光谱仪的通道，其大小也直接影响光谱仪的光通量。缝隙越大，光通量越大，并且缝隙越小，光通量越小。
