近红外光谱仪采用全新的MEMS技术，将光谱仪的光路刻在波导上，使产品在恶劣环境下也能保持良好的性能。同时，这种单芯片设计不仅可以保持平台间差异，而且在大规模量产时也可以大大降低产品成本。采用线性CCD探测器，量子效率高；可编程增益放大和高速16位AD转换具有很大的动态范围。适用于光谱测量与分析、光谱反射率检测、光谱透射率测量、光谱荧光检测等多种光谱测量。其波段为紫外可见（200-850nm）或可见近红外（400-1100nm），也可根据自身需要定制。常见的光源包括卤钨灯、发光二极管和激光二极管。
光谱系统是近红外光谱仪的核心装置，它的作用是将复合光转化为单色光。主要光谱类型有滤光片、光栅、干涉仪和声光可调滤光片，分别对应滤光红外光谱仪、色散红外光谱仪、傅里叶变换红外光谱仪和声光滤光红外光谱仪。
1、滤光式红外光谱仪
滤光型红外光谱仪使用干涉滤光片进行分光。通过在转盘上固定不同的滤光片，可以测量样品在多个波长的红外光谱数据。目前过滤器技术的发展受到限制，目前的技术水平只能开发过滤器。
2、色散红外光谱仪
色散红外光谱仪又称光栅扫描红外光谱仪。它使用棱镜或光栅作为分光。这种仪器的特点是全光谱扫描和高分辨率。
3、傅里叶变换红外光谱仪
近红外光谱仪光源发出的光被准直成平行光，以45°角入射到分束器上。一半的光被分束器反射并导向固定镜m2，另一半光通过分束器导向移动镜M1。射向定镜和动镜的光经过反射后实际上会聚在一起。这时就变成了具有干涉光特性的相干光。当动镜移动时，可以获得不同光程差的干涉光强度。对于纯单色光，在动镜的连续运动中会得到强度不断变化的余弦干涉波，因此探测器检测到的是样品的干涉图，可以得到分析光中所有波长的信息每次。最后，将样品经过傅里叶变换后的干涉图函数与空白光源强度频率分布的比值即可得到样品的红外光谱。
