高灵敏度光谱仪适用于荧光测量、DNA测序、拉曼分析等领域的光谱分析和检测，针对弱光环境。它是一种科学光谱仪，常用于荧光测量、DNA测序、拉曼分析等应用领域。具有高量子效率，其坚固的设计使其具有高信噪比性能和稳定性，可以通过选择内部快门来优化暗噪声的测量，可实现微光检测，减少光谱误差。具有重金属痕量检测能力，快速基本参数法提高了元素的准确定量水平。两项核心技术的结合为XRF元素检测带来了新的应用前景。
1、采用双曲面曲面晶体单色器优化元素激发效率，降低X射线管的连续散射射线背景，提高元素荧光射线的信噪比。
2、硅漂移探测器（SDD）是能量色散X射线荧光光谱仪的核心部件，其性能取决于晶体面积、窗口材料、计数率、分辨率等。
3、高灵敏度光谱仪XRF分析的难点在于元素的荧光强度不仅与样品中元素的含量有关，还与其他元素的含量有关，即所谓的基质吸收增强效应。这种物理效应使得选择合适的标准样品变得困难。如果选择的标准样品基质不一致，不能覆盖待测样品中各元素的含量范围，会给实际样品分析带来误差。基本参数法通过计算从X射线荧光光谱产生到检测的各个环节，建立相应的数学模型。基本参数法消除了因不同类型样品的基体差异而引起的背景差异，减少了分析误差，通过少量标准样品的校正，获得了更准确的元素定量结果。
4、优化镉的检测能力。镉是一种有毒的重金属，在环境保护和食品安全领域备受关注。常规XRF对镉的影响很小（kα：23.1kev）是激发和检测的挑战。通过镉的单色聚焦激发，高灵敏度光谱仪对镉的检出限达到0.06mg/kg。
