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NIR近红外光谱仪利用MEMS技术降低尺寸

发布时间:2016-07-28      点击次数:286
基于NIR近红外光谱仪有两种尺寸——小型与微型级。较大尺寸的机型大约有鞋盒的三分之一(相形之下,现有的实验室光谱仪尺寸相当于行李箱大小),利用MEMS光学干扰滤波器,广泛涵盖3-11微米波长。取决于所使用的干扰量级,全宽/半高(FWHW)带宽大约可达到50-200nm的纳米级。
NIR近红外光谱仪的完整侦测模块,采用TO-8封装
电子可调的通频带利用2个相等且可移动的反射载子,达到70%以上的zui大透射率,可让施力于反射间隔上引起的振动与重力zui小化。
目前用于微型光谱仪中zui小Fabry-Perot干涉仪(FPI)的芯片尺寸约7mmx7mmx0.6mm
较大的光谱仪可用于取代实验室中不需要达到zui高灵敏度或光谱范围的光谱仪,或是作为取代某些特定应用光谱仪的理想选择。其他应用包括工业工艺光谱仪、沼气厂房控制、燃油监测系统以及食品质量分析。
较小的光谱仪基于Fabry-Perot干涉仪(FPI),可打造足以塞进TO-8封装的小尺寸。这款FPI芯片尺寸为7x7x0.6mm2,用于扩展标准固定波长多色红外线探测器的功能。其极低价格和小尺寸使其适于红外线光谱的大量应用,包括光谱成像、医疗测量、工业气体分析仪、衰减式全反射(ATR)传感器、手持式分析仪、传感器网器、警示与安全系统等。
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